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Features/Benefits
- 전자동 방식의 고성능 시험 장치
- 백그라운드 입자 레벨을 Zero 근접을 실현.
- 일회용 마스크,와이퍼 등 소형시료 1매도
- 시험이 가능하여 변별력 및 시험비용 대폭 삭감
- 컴퓨터 제어에 의한 크리닝모드 구비로 챔버의 신속 세정
- 3개의 입자 샘플구 장착으로 다양한 장치의 동시 연결 가능
- 특허받은 고유 구조 채용 ( 2010.8 특허등록완료)
- 사용조건: Class 100 이상 고청정 크린룸
- 당사 기존 시리즈 대비 낮아진 Background Level
- 당사 기존 시리즈 대비 보다 큰 부피의 시료 시험 가능
- 드럼의 양방향 회전으로 시료 말림에 의한 오차 최소화
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Applications
- 청정용품, 크린룸용 자재 류 전반적의 품질관리
- 각종 크린룸용 자재, 소모품 및 공정 소모품의 입자오염도 평가/ 수입검사 / 품질인증 /제품개발/공정관리
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적용산업분야
- Dimension : Main Body :800mm (w) x 1150 mm(d) x 1800 mm(h) 350kg
- Power : 220 v (50 Hz, 60 Hz) 15 A ( 단상)
- Gas : N2 or Compressed Air ( > 0.4 Mpa )
- Drum : 10 ~ 60 rpm ( Max 100) / Bidirectional ( CW and CCW )
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